WAO是1944年由F.J.ZimmermannLlu提出的，它是指在高温(150～320℃)和高压(0.5～20MPa)条件下，以空气或其它氧化剂(臭氧、纯氧、过氧化氢)为氧化剂，将污染物氧化分解为无机物或小分子有机物的化学过程。WAO反应机理比较复杂，主要包括传质和化学反应两个过程，目前的研究结果普遍认为WAO反应属于自由基反应。20世纪70年代出现的催化湿式氧化法(WCAO)是对传统WAO法的改进。它是在湿式氧化过程中，加入适宜的催化剂降低反应活化能，使反应在更温和、更短的时间内完成。WCAO能够对高浓度、有毒有害废水进行有效处理的一个决定性因素就是催化剂。相比于均相催化剂，多相催化剂活性高、易分离、稳定性好，已成为WCAO研究开发和实际应用的重要方向。具体联系污水宝或参见http://www.dowater.com更多相关技术文档。
1958年，美国首次采用WAO处理造纸废液，废水的COD去除率达到90%以上。目前，世界上已经有400多套装置广泛用于处理化工废水、石化废水、制药废水及城市污泥等。我国20世纪80年代末，宝钢、抚顺、盘锦、茂名、乌鲁木齐引进了WA0工艺成套设备。西门子水务为中石油提供WAO技术，用于大庆、安庆、九江、茂名等地的石化碱洗废水处理。中国科学院大连化学物理研究所分别于2007、2013、2015年在深圳市危险废物处理站有限公司、万华化学集团股份有限公司、天津北方食品有限公司建成了处理规模0.8万t/a和1.6万t/a高浓度难降解有机工业废水，3万t/aWCAO处理糖精生产废水装置。CWAO总体上处于工业化应用初期，还需要在广谱高效催化剂的研制、反应器材料、结构和操作方式的改进等方面进行不断地优化和实践。
投资和运行费用昂贵，苛刻的反应条件及安全性是WAO大规模工业化应用的主要障碍。据2003年美国军方对WAO的技术评估报告估算，处理量为2.27t/h的化学毒气(沙林、芥子气)，WAO系统的投资成本约975万美元，运行费用约90万美元/a。