申请日2012.04.24
公开(公告)日2012.11.07
IPC分类号B01D61/18
摘要
本实用新型涉及一种切割研磨废水的超过滤(UF)过滤装置，用于回收处理经切割研磨后的废水，使之经过过滤后转成纯度较高的净水而得以循环利用。该超过滤(UF)过滤装置包括有一UF滤膜全流过滤模组、一连通至UF滤膜全流过滤模组的供气模组、一连通至UF滤膜全流过滤模组的供药模组、以及用以控制进水、排水、供气、供药等的阀控制模组，并由此提供自动或手动控制的正洗、逆洗或药洗流程。较佳地，UF滤膜竖直放置，还包括逆洗泵、初滤模组等。本实用新型的切割研磨废水的超过滤(UF)过滤装置设计巧妙，结构简洁，在使用中不会刮伤UF滤膜，除了能延长UF滤膜的使用寿命，并能降低水处理成本，适于大规模推广应用。
权利要求书
1.一种切割研磨废水的超过滤过滤装置，其特征在于，包括上进水控制阀、UF滤膜全 流过滤模组和产水控制阀，所述UF滤膜全流过滤模组由多支UF滤膜组成，所述UF滤膜全流 过滤模组的上进水端通过所述上进水控制阀管路连接切割研磨废水收集容器，所述UF滤膜全 流过滤模组的出水端通过所述产水控制阀管路连接产水收集容器。
2.根据权利要求1所述的切割研磨废水的超过滤过滤装置，其特征在于，所述UF滤膜竖 直放置。
3.根据权利要求1所述的切割研磨废水的超过滤过滤装置，其特征在于，所述的切割研 磨废水的超过滤过滤装置还包括下进水控制阀、排放口和排水控制阀，所述UF滤膜全流过滤 模组的下进水端还通过所述下进水控制阀管路连接所述切割研磨废水收集容器，所述UF滤膜 全流过滤模组的上进水端还通过所述排水控制阀管路连接所述排放口。
4.根据权利要求3所述的切割研磨废水的超过滤过滤装置，其特征在于，所述的切割研 磨废水的超过滤过滤装置还包括供气模组和供气控制阀，所述UF滤膜全流过滤模组的下进水 端还通过所述供气控制阀管路连接所述供气模组。
5.根据权利要求4所述的切割研磨废水的超过滤过滤装置，其特征在于，所述供气模组 为压缩干燥空气供气模组或氮气供气模组。
6.根据权利要求3所述的切割研磨废水的超过滤过滤装置，其特征在于，所述的切割研 磨废水的超过滤过滤装置还包括逆洗泵，所述UF滤膜全流过滤模组的出水端还通过所述逆洗 泵管路连接所述产水收集容器。
7.根据权利要求3所述的切割研磨废水的超过滤过滤装置，其特征在于，所述的切割研 磨废水的超过滤过滤装置还包括供药模组、供药控制阀和排药控制阀，所述UF滤膜全流过滤 模组的出水端还通过所述供药控制阀管路连接所述供药模组，所述UF滤膜全流过滤模组的下 进水端还通过所述排药控制阀管路连接所述排放口。
8.根据权利要求7所述的切割研磨废水的超过滤过滤装置，其特征在于，所述供药模组 包括次氯酸钠储存容器、次氯酸钠加压机、盐酸储存容器、盐酸加压机、氢氧化钠储存容器 和氢氧化钠加压机，所述供药控制阀分别通过所述次氯酸钠加压机、所述盐酸加压机和所述 氢氧化钠加压机管路连接所述次氯酸钠储存容器、所述盐酸储存容器和所述氢氧化钠储存容 器。
9.根据权利要求1所述的切割研磨废水的超过滤过滤装置，其特征在于，所述的切割研 磨废水的超过滤过滤装置还包括初滤模组，所述切割研磨废水收集容器通过所述初滤模组管 路连接所述上进水控制阀，或者所述上进水控制阀通过所述初滤模组管路连接所述UF滤膜全 流过滤模组的上进水端。
说明书
切割研磨废水的超过滤过滤装置
技术领域
本实用新型涉及过滤装置技术领域，特别涉及超过滤(UF)过滤装置技术领域，具体是 指一种切割研磨废水的超过滤(UF)过滤装置。
背景技术
在电子制程相关产业，例如IC封装产业的制程，包括晶圆切割(Wafer Saw)及晶圆研 磨(Wafer Back Grinding)这些制程，均会使用超纯水洗净，因此也产生了大量的切割研磨废 水。
在这些电子相关产业中，晶片切割研磨废水因为含有极细微的粉末颗粒，在处理上并不 容易，同时废水处理费用也相当惊人，回收率也不高。传统以UF滤膜处理研磨废水的方式， 多采用横流过滤(Cross Flow)法进行过滤，但由于使用横流过滤(Cross Flow)法的设备较 为复杂、设置成本高、回收率低，且因为废水的进水流动方向和UF滤膜平行，废水中的悬 浮颗粒和矽粉末不仅会造成UF系统阻塞，也会刮伤UF滤膜，导致UF滤膜的寿命缩短(使 用寿命仅约一年)，不符合经济效益。
因此，需要提供一种切割研磨废水的超过滤(UF)过滤装置，其在使用中不会刮伤UF 滤膜，延长UF滤膜的使用寿命，并降低水处理成本。
实用新型内容
本实用新型的目的是克服了上述现有技术中的缺点，提供一种切割研磨废水的超过滤 (UF)过滤装置，该切割研磨废水的超过滤(UF)过滤装置设计巧妙，结构简洁，在使用中 不会刮伤UF滤膜，延长UF滤膜的使用寿命，并降低水处理成本，适于大规模推广应用。
为了实现上述目的，本实用新型的切割研磨废水的超过滤(UF)过滤装置，其特点是， 包括上进水控制阀、UF滤膜全流过滤模组和产水控制阀，所述UF滤膜全流过滤模组由多支 UF滤膜组成，所述UF滤膜全流过滤模组的上进水端通过所述上进水控制阀管路连接切割研 磨废水收集容器，所述UF滤膜全流过滤模组的出水端通过所述产水控制阀管路连接产水收 集容器。
较佳地，所述UF滤膜竖直放置。
较佳地，所述的切割研磨废水的超过滤(UF)过滤装置还包括下进水控制阀、排放口和 排水控制阀，所述UF滤膜全流过滤模组的下进水端还通过所述下进水控制阀管路连接所述切 割研磨废水收集容器，所述UF滤膜全流过滤模组的上进水端还通过所述排水控制阀管路连接 所述排放口。
更佳地，所述的切割研磨废水的超过滤(UF)过滤装置还包括供气模组和供气控制阀， 所述UF滤膜全流过滤模组的下进水端还通过所述供气控制阀管路连接所述供气模组。
更进一步地，所述供气模组为压缩干燥空气(CDA)供气模组或氮气供气模组。
更佳地，所述的切割研磨废水的超过滤(UF)过滤装置还包括逆洗泵，所述UF滤膜全流 过滤模组的出水端还通过所述逆洗泵管路连接所述产水收集容器。
更佳地，所述的切割研磨废水的超过滤(UF)过滤装置还包括供药模组、供药控制阀和 排药控制阀，所述UF滤膜全流过滤模组的出水端还通过所述供药控制阀管路连接所述供药模 组，所述UF滤膜全流过滤模组的下进水端还通过所述排药控制阀管路连接所述排放口。
更进一步地，所述供药模组包括次氯酸钠储存容器、次氯酸钠加压机、盐酸储存容器、 盐酸加压机、氢氧化钠储存容器和氢氧化钠加压机，所述供药控制阀分别通过所述次氯酸钠 加压机、所述盐酸加压机和所述氢氧化钠加压机管路连接所述次氯酸钠储存容器、所述盐酸 储存容器和所述氢氧化钠储存容器。
较佳地，所述的切割研磨废水的超过滤(UF)过滤装置还包括初滤模组，所述切割研磨 废水收集容器通过所述初滤模组管路连接所述上进水控制阀，或者所述上进水控制阀通过所 述初滤模组管路连接所述UF滤膜全流过滤模组的上进水端。
本实用新型的有益效果具体在于：
1、本实用新型的切割研磨废水的超过滤(UF)过滤装置包括上进水控制阀、UF滤膜全 流过滤模组和产水控制阀，所述UF滤膜全流过滤模组由多支UF滤膜组成，所述UF滤膜全 流过滤模组的上进水端通过所述上进水控制阀管路连接切割研磨废水收集容器，所述UF滤 膜全流过滤模组的出水端通过所述产水控制阀管路连接产水收集容器，从而以全流过滤(Dead End)方式产水，使设备简单化，不仅初期投资成本得以降低，操作上亦比横流过滤(Cross Flow)方式节省能源，设计巧妙，结构简洁，在使用中不会刮伤UF滤膜，延长UF滤膜的使 用寿命，并降低水处理成本，适于大规模推广应用。
2、本实用新型的切割研磨废水的超过滤(UF)过滤装置还包括下进水控制阀、排放口 和排水控制阀，所述UF滤膜全流过滤模组的下进水端还通过所述下进水控制阀管路连接所 述切割研磨废水收集容器，所述UF滤膜全流过滤模组的上进水端还通过所述排水控制阀管 路连接所述排放口，从而可以实现正洗，设计巧妙，结构简洁，在使用中不会刮伤UF滤膜， 延长UF滤膜的使用寿命，并降低水处理成本，适于大规模推广应用。
3、本实用新型的切割研磨废水的超过滤(UF)过滤装置还包括供气模组和供气控制阀， 所述UF滤膜全流过滤模组的下进水端还通过所述供气控制阀管路连接所述供气模组，从而 可以实现气洗，设计巧妙，结构简洁，在使用中不会刮伤UF滤膜，延长UF滤膜的使用寿命， 并降低水处理成本，适于大规模推广应用。
4、本实用新型的切割研磨废水的超过滤(UF)过滤装置还包括逆洗泵，所述UF滤膜全 流过滤模组的出水端还通过所述逆洗泵管路连接所述产水收集容器，从而实现逆洗，设计巧 妙，结构简洁，在使用中不会刮伤UF滤膜，延长UF滤膜的使用寿命，并降低水处理成本， 适于大规模推广应用。
5、本实用新型的切割研磨废水的超过滤(UF)过滤装置还包括供药模组、供药控制阀 和排药控制阀，所述UF滤膜全流过滤模组的出水端还通过所述供药控制阀管路连接所述供 药模组，所述UF滤膜全流过滤模组的下进水端还通过所述排药控制阀管路连接所述排放口， 从而实现药洗，设计巧妙，结构简洁，在使用中不会刮伤UF滤膜，延长UF滤膜的使用寿命， 并降低水处理成本，适于大规模推广应用。