半导体材料研磨废水污泥处理装置

发布时间:2021-1-4 10:34:39

申请日 20200912

公开(公告)日 20201222

IPC分类号 B01D19/02; B01D19/04; C02F11/00; C02F103/34

摘要

本发明公开了一种半导体材料研磨废水污泥处理装置,其结构包括有第一电机、机体、第二电机、泡沫消除机构、搅拌机构、支撑架,机体的底部焊接有支撑架,支撑架上安装有第一电机,第一电机的输出轴与搅拌机构相连接,与现有技术相比,本发明的有益效果在于:本发明通过泡沫导入组件、伸缩杆、螺旋体、底盘的结合设置,部分泡沫能先经扎泡网板扎破,以此减少泡沫量,部分泡沫进入螺旋体,通过液位的改变,以此使泡沫被消泡剂卷入进入螺旋体内进行深层的彻底消除,消泡效率高且效果好,使得污泥能够及时排出进行压滤分离,有助于提高废水污泥的处理效率,且此消泡方式能大大减少消泡剂的使用。

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权利要求书

1.一种半导体材料研磨废水污泥处理装置,其结构包括有第一电机(1)、机体(2)、第二电机(3)、泡沫消除机构(4)、搅拌机构(5)、支撑架(6),所述机体(2)焊接有与第一电机(1)连接的支撑架(6),所述第一电机(1)与搅拌机构(5)相连,所述搅拌机构(5)内设于机体(2),所述搅拌机构(5)上方设有与第二电机(3)相连的泡沫消除机构(4),所述泡沫消除机构(4)还与机体(2)连接,其特征在于:

所述泡沫消除机构(4)包括有泡沫导入组件(111)、伸缩杆(222)、螺旋体(333)、底盘(444),所述螺旋体(333)安装有泡沫导入组件(111)、底盘(444),所述伸缩杆(222)贯穿于螺旋体(333)与底盘(444)连接,所述螺旋体(333)与伸缩杆(222)连接,所述伸缩杆(222)的外筒与第二电机(3)、机体(2)连接,所述螺旋体(333)内置有泡沫消除剂。

2.根据权利要求1所述的一种半导体材料研磨废水污泥处理装置,其特征在于:所述底盘(444)包括有环盘(a1a)、连接头(a2a)、顶环(a3a)、安装口(a4a)、排水阀(a5a)、分水管(a6a)、底环(a7a),所述环盘(a1a)设有安装口(a4a),所述环盘(a1a)上连顶环(a3a),下接底环(a7a),所述底环(a7a)通过分水管(a6a)与排水阀(a5a)连接,所述顶环(a3a)连有与螺旋体(333)相接的连接头(a2a),所述伸缩杆(222)与环盘(a1a)连接。

3.根据权利要求2所述的一种半导体材料研磨废水污泥处理装置,其特征在于:所述环盘(a1a)包括有基体(a11)、第一卷放组件(a12)、第一发条(a13)、第二卷放组件(a14)、环形腔(a15)、储液囊(a16)、第二发条(a17),所述基体(a11)内设有环形腔(a15),所述环形腔(a15)设有八个储液囊(a16),八个所述储液囊(a16)通过第一发条(a13)、第二发条(a17)串联,所述第二发条(a17)连于第二卷放组件(a14),所述第一发条(a13)与第一卷放组件(a12)连接。

4.根据权利要求3所述的一种半导体材料研磨废水污泥处理装置,其特征在于:所述储液囊(a16)与顶环(a3a)、底环(a7a)连通,所述基体(a11)与顶环(a3a)、底环(a7a)连接,所述基体(a11)连于伸缩杆(222)。

5.根据权利要求3所述的一种半导体材料研磨废水污泥处理装置,其特征在于:所述储液囊(a16)包括有回形块(x1)、防护层(x2)、橡胶囊体(x3),所述橡胶囊体(x3)两侧面均固定有防护层(x2),所述防护层(x2)固定有回形块(x1),所述回形块(x1)设有两块,一块与第一发条(a13)配合,另一块配合于第二发条(a17)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体材料研磨废水污泥处理装置,其特征在于:所述橡胶囊体(x3)内置有液态水,所述橡胶囊体(x3)位于第一发条(a13)与第二发条(a17)间,所述橡胶囊体(x3)与顶环(a3a)、底环(a7a)连通。

7.根据权利要求1所述的一种半导体材料研磨废水污泥处理装置,其特征在于:所述泡沫导入组件(111)包括有斗体(c1c)、出口(c2c)、逆转导入组(c3c)、顺转导入组(c4c)、入口(c5c),所述斗体(c1c)设有出口(c2c)、入口(c5c),所述斗体(c1c)内设有逆转导入组(c3c)、顺转导入组(c4c),所述斗体(c1c)嵌于螺旋体(333)。

8.根据权利要求7所述的一种半导体材料研磨废水污泥处理装置,其特征在于:所述逆转导入组(c3c)包括有刮入板(3c1)、安装环(3c2)、扎泡网板(3c3),所述安装环(3c2)安装有两个刮入板(3c1)和一个扎泡网板(3c3),所述扎泡网板(3c3)与刮入板(3c1)为弧形结构设置。

说明书

一种半导体材料研磨废水污泥处理装置

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域,具体地说是一种半导体材料研磨废水污泥处理装置。

背景技术

半导体材料是一类具有半导体性能可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料,半导体零部件的加工工艺有研磨工序,研磨废水经过废水处理工艺芬顿反应处理后产生污泥废水,污泥废水通过压滤机压滤后清水外排,在进行压滤前需要进行搅拌,以此使污泥浮起,避免污泥沉淀,搅拌半导体材料的研磨废水会产生泡沫,而泡沫又难以自然消除,故现有对于泡沫的处理大多都是采用消泡剂,通过直接往废水中投入消泡剂进行消泡处理,若机体较大,泡沫面积较大,则需要采用大量的消泡剂,成本高,且还不能彻底消除,会导致极轻的污泥会附在泡沫上,从而会降低废水污泥的分离处理效率,故会使得这部分研磨料不能及时排出进行与废水的分离。

发明内容

本发明的主要目的在于克服现有技术的不足,提供一种半导体材料研磨废水污泥处理装置。

本发明采用如下技术方案来实现:一种半导体材料研磨废水污泥处理装置,其结构包括有第一电机、机体、第二电机、泡沫消除机构、搅拌机构、支撑架,所述机体的底部焊接有支撑架,所述支撑架上安装有第一电机,所述第一电机的输出轴与搅拌机构相连接,所述搅拌机构内设于机体,所述搅拌机构的上方设有泡沫消除机构,所述泡沫消除机构与第二电机相连接,所述泡沫消除机构还与机体连接。

所述泡沫消除机构包括有泡沫导入组件、伸缩杆、螺旋体、底盘,所述螺旋体的顶部开口安装有泡沫导入组件,所述螺旋体的底部连接有底盘,所述伸缩杆的内杆贯穿于螺旋体的中心而与底盘连接,所述螺旋体的中心内壁与伸缩杆的内杆连接,所述伸缩杆的外筒与第二电机连接,所述伸缩杆的外筒通过轴承座连接于机体,所述螺旋体内置有泡沫消除剂。

作为本发明内容的进一步优化,所述底盘包括有环盘、连接头、顶环、安装口、排水阀、分水管、底环,所述环盘中心形成安装口,所述环盘的顶面固定有顶环,底面连接有底环,所述底环的内圆周壁面的八等分位均通过分水管与排水阀连接,所述顶环连接有连接头,所述连接头连接于螺旋体的底部,所述环盘、底环、顶环为同心环结构设置,所述伸缩杆的内杆贯穿于安装口与环盘内壁连接。

作为本发明内容的进一步优化,所述环盘包括有基体、第一卷放组件、第一发条、第二卷放组件、环形腔、储液囊、第二发条,所述基体内部设有环形腔,所述环形腔的八等分位上均设有储液囊,八个所述储液囊通过第一发条、第二发条串联,所述第二发条连接于第二卷放组件,所述第一发条与第一卷放组件连接,所述储液囊设于第一发条与第二发条间。

作为本发明内容的进一步优化,所述储液囊顶部与顶环相连通,底部连通于底环,所述基体顶面与顶环相连,底面与底环相接,所述基体连接于伸缩杆的内杆。

作为本发明内容的进一步优化,所述储液囊包括有回形块、防护层、橡胶囊体,所述橡胶囊体的两侧面均固定有防护层,所述防护层的中心固定有回形块,所述回形块设有两块,一块所述回形块与第一发条配合,另一块所述回形块配合于第二发条。

作为本发明内容的进一步优化,所述橡胶囊体内置有液态水,所述橡胶囊体位于第一发条与第二发条之间,所述橡胶囊体顶部与顶环无缝连通,底部无缝连通于底环。

作为本发明内容的进一步优化,所述泡沫导入组件包括有斗体、出口、逆转导入组、顺转导入组、入口,所述斗体一端设有出口,另一端设有入口,所述斗体内设有逆转导入组、顺转导入组,所述斗体嵌入于螺旋体的顶部开口。

作为本发明内容的进一步优化,所述逆转导入组包括有刮入板、安装环、扎泡网板,所述安装环的外环壁上安装有两个刮入板和一个扎泡网板,所述扎泡网板与刮入板为弧形结构设置。

有益效果

通过驱动第二电机,使得伸缩杆带动螺旋体缓慢旋转,从而泡沫能进入泡沫导入组件内,通过驱动逆转导入组逆时针旋转,而顺转导入组通过相啮合的两个齿轮进行与逆转导入组的相反方向的旋转,从而通过刮入板将产生的泡沫刮入斗体内,一些泡沫能被扎泡网板扎破,而不能被扎破的泡沫则随着泡沫的递增而进入螺旋体内,通过驱动第二卷放组件释放第二发条,通过驱动第一卷放组件收卷第第一发条,从而第一发条、第二发条分别对橡胶囊体施压,使得橡胶囊体受压将其内部的液体挤出,通过顶环、连接头进入螺旋体,使得螺旋体的内的消泡剂液位升高,从而溢涨靠近泡沫导入组件,使得消泡剂能够与泡沫接触,以此进行消泡,通过驱动第二卷放组件收卷第二发条,通过驱动第一卷放组件释放第一发条,从而第一发条、第二发条能将橡胶囊体撑开,便于橡胶囊体复位,由于液体有高势向低势流,而螺旋体是螺旋状,则会使得部分未消泡的泡沫被消泡剂卷入螺旋体内进行充分消泡,而部分液体会通过连接头、顶环返流于橡胶囊体,液位也会降低,除泡完毕后,通过开启排水阀,使得液体顺着螺旋体的螺旋而入,经连接头、顶环、橡胶囊体、底环、分水管从排水阀排出。

综上所述,与现有技术相比,本发明通过泡沫导入组件、伸缩杆、螺旋体、底盘的结合设置,部分泡沫能先经扎泡网板扎破,以此减少泡沫量,部分泡沫进入螺旋体,通过液位的改变,以此使泡沫被消泡剂卷入进入螺旋体内进行深层的彻底消除,消泡效率高且效果好,使得污泥能够及时排出进行压滤分离,有助于提高废水污泥的处理效率,且此消泡方式能大大减少消泡剂的使用。

发明人 (郭志锋)

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