申请日2006.01.18
公开(公告)日2007.07.25
IPC分类号C02F1/72; C02F1/78; C02F1/32; C02F101/30; C02F1/42; C02F1/28; C02F1/20
摘要
本发明涉及一种回收处理后废水的产业制造系统及其方法，可回收处理后的废水作为原水供重复使用，该制造系统包含有一废水处理回收系统，可分解该废水中的有机物，该回收处理包含有一氧化次系统，可接受该含有有机碳废水的输入，其包含有一OH基产生模块，可产生OH基，一有机物破坏模块，可将OH基产生模块所产生的OH基加至废水中并破坏废水中的有机物;以及一触媒加速反应模块，其内含触媒可进一步分解废水中的有机物;及一离子交换次系统，包含有一离子吸附反应模块，其接收氧化次系统处理后的废水，以去除废水中的阴阳离子，并再进一步降低废水中的总有机碳含量至可利用原水标准。
権利要求書
1.一种废水处理系统，可分解含有有机碳废水中的有机物，该处理系 统包含：
一氧化次系统，可接受该含有有机碳废水的输入，其包含有一OH 基产生模块，可产生OH基，一有机物破坏模块，可将OH基产生模 块所产生的OH基加至废水中并破坏废水中的有机物;及一触媒加速 反应模块，其内含触媒可进一步分解废水中的有机物;及
一离子交换次系统，包含有一离子吸附反应模块，其接收氧化次 系统处理后的废水，以去除废水中的阴阳离子，并再进一步降低废水 中的总有机碳含量。
2.如权利要求1所述的系统，其中氧化次系统的OH基产生模块系利 用紫外线照射臭氧以产生OH基。
3.如权利要求1所述的系统，其中氧化次系统的触媒加速反应模块所 使用的触媒由含铁化合物所组成的群组中所选定。
4.如权利要求1所述的系统，其中离子交换次系统的离子吸附反应模 块为离子树脂吸附反应模块。
5.如权利要求1所述的系统，其中离子交换次系统包含有一阳离子 塔，可去除废水中的阳离子。
6.如权利要求1所述的系统，其中离子交换次系统包含有一阴离子 塔，可去除废水中的阴离子。
7.如权利要求1所述的系统，其中离子交换次系统包含有一脱气塔， 可排出废水中的二氧化碳。
8.一种废水处理回收系统，可分解含有有机碳废水中的有机物，并回 收处理后的废水作为原水供重复使用，该处理回收系统包含：
一氧化次系统，可接受该含有有机碳废水 的输入，其包含有一OH 基产生模块，可产生OH基，一有机物破坏模块，可将OH基产生模 块所产生的OH基加至废水中并破坏废水中的有机物;及一触媒加速 反应模块，其内含触媒可进一步分解废水中的有机物;及
一离子交换次系统，包含有一离子吸附反应模块，其接收氧化次 系统处理后的废水，以去除废水中的阴阳离子，并再进一步降低废水 中的总有机碳含量至可利用原水标准。
9.如权利要求8所述的系统，其中氧化次系统的OH基产生模块系利 用紫外线照射臭氧以产生OH基。
10.如权利要求8所述的系统，其中氧化次系统的触媒加速反应模块所 使用的触媒由含铁化合物所组成的群组中所选定。
11.如权利要求8所述的系统，其中离子交换次系统的离子吸附反应模 块系为离子树脂吸附反应模块。
12.如权利要求8所述的系统，其中离子交换次系统包含有一阳离子 塔，可去除废水中的阳离子。
13.如权利要求8所述的系统，其中离子交换次系统包含有一阴离子 塔，可去除废水中的阴离子。
14.如权利要求8所述的系统，其中离子交换次系统包含有一脱气塔， 可排出废水中的二氧化碳。
15.一种回收处理后废水的产业制造系统，可回收处理后的废水作为原 水供重复使用，该制造系统包含：
一废水处理回收系统，可分解该废水中的有机物，其包含： 一氧化次系统，可接受该含有有机碳废水的输入，其包含有一OH基 产生模块，可产生OH基，一有机物破坏模块，可将OH基产生模块 所产生的OH基加至废水中并破坏废水中的有机物;及
一触媒加速反应模块，其内含触媒可进一步分解废水中的有机物; 及一离子交换次系统，包含有一离子吸附反应模块，其接收氧化次系 统处理后的废水，以去除废水中的阴阳离子，并再进一步降低废水中 的总有机碳含量至可利用原水标准。
16.如权利要求15所述的系统，其中氧化次系统的OH基产生模块系 利用紫外线照射臭氧以产生OH基。
17.如权利要求15所述的系统，其中氧化次系统的触媒加速反应模块 所使用的触媒系由含铁化合物所组成的群组中所选定者。
18.如权利要求15所述的系统，其中离子交换次系统的离子吸附反应 模块系为离子树脂吸附反应模块。
19.如权利要求15所述的系统，其中离子交换次系统包含有一阳离子 塔，可去除废水中的阳离子。
20.如权利要求15所述的系统，其中离子交换次系统包含有一阴离子 塔，可去除废水中的阴离子。
21.如权利要求15所述的系统，其中离子交换次系统包含有一脱气塔， 可排出废水中的二氧化碳。
22.一种废水处理方法，可分解含有有机碳废水中的有机物，该处理方 法包含：
产生OH基，并以OH基破坏裂解废水中的有机物;
以触媒进一步分解废水中的有机物;及
以离子交换反应去除废水中的阴阳离子，再进一步降低废水中的 总有机碳含量。
23.如权利要求22的方法，其中OH基产生的步骤包含利用紫外线照 射臭氧以产生OH基。
24.如权利要求22所述的方法，其中以触媒进一步分解废水中的有机 物的步骤所使用的触媒由含铁化合物所组成的群组中所选定。
25.如权利要求22所述的方法，其中以离子交换反应去除废水中的阴 阳离子以再进一步降低废水中总有机碳含量的步骤系使用离子树脂吸 附反应。
26.如权利要求22所述的系统，其中以离子交换反应去除废水中的阴 阳离子以再进一步降低废水中总有机碳含量的步骤包含使用阳离子塔 去除废水中的阳离子。
27.如权利要求22所述的方法，其中以离子交换反应去除废水中的阴 阳离子以再进一步降低废水中总有机碳含量的步骤包含使用阴离子塔 去除废水中的阴离子。
28.如权利要求22所述的方法，其中以离子交换反应去除废水中的阴 阳离子以再进一步降低废水中总有机碳含量的步骤包含使用脱气塔排 出废水中的二氧化碳。
说明书
有机废水回收处理系统及方法
技术领域
本发明涉及一种新的系统及方法，其适用于含有机物的制程废水 的回收，特别是含有机处理剂的产业废水的回收，更特别涉及有关于 诸如半导体制程所产生含有机处理剂的产业废水的回收。
背景技术
各种工业制程废水的排放，在环境保护意识高张的今日，已受到 环保规章的严格规范。为符合废水排放标准，针对不同产业的不同性 质废水，常须使用一定繁复程度的处理设备，以使排放水及残余污泥 分别符合排放及掩埋标准。
另一方面，由于工商产业澎勃发展，水资源的供应益趋紧绷。以 台湾地狭人稠，工商住居混处，水资源的供应时常面临民生及工业用 水抢取竞争的局面，特别是以枯水或台风原水浊度增高等时期为然。
工业制程，诸如半导体集成电路(semiconductor integrated circuits) 及薄膜晶体管液经显示板(TFT LCD cells)等的制程，其各种制程步骤常 须使用含有机溶剂以进行诸如蚀刻或显影等必要处理后的清洗。其处 理后的废水通常内含有机物，若未经处理，其作为水质管制指针的一 的化学需氧量(COD，Chemical Oxygen Demand)，即无法降至环保管制 标准值以内而无法直接排放，更不用说能符合原水的总有机碳含量 (TOC，Total Organic Carbon)标准以供回收使用。
现有技术领域中有先进氧化法(AOP，advanced oxidation process)， 其可利用臭氧(O3)来分解高TOC废水中的有机物。不过，基于O3的高 选择性的特性，故其总体有机碳去除率并不高，特别是废水中的TOC 浓度低于2ppm以下时为然。视其废水进水的情况而定，典型AOP通 常仅能去除50～60%的总有机碳。此外，经AOP处理后的废水，其离 子浓度不减反增，此等AOP习用技术虽然有可能将诸如半导体或液晶 显示板的制程废水中的总有机碳降低，但却难以达到回收废水标准以 供补注制程原水的使用。
发明内容
有鉴于此，本发明提出一种有机废水回收处理系统及方法，其适 用于含有机物的废水的处理，可将有机废水的总有机碳含量降至原水 标准，以供产业制程原水补注。
为达到上述发明目的，本发明提供一种废水处理系统，可分解含 有有机碳废水中的有机物，该处理系统包含一氧化次系统，可接受该 含有有机碳废水的输入，其包含有一OH基产生模块，可产生OH基， 一有机物破坏模块，可将OH基产生模块所产生的OH基加至废水中 并破坏废水中的有机物;及一触媒加速反应模块，其内含触媒可进一 步分解废水中的有机物;及一离子交换次系统，包含有一离子吸附反 应模块，其接收氧化次系统处理后的废水，以去除废水中的阴阳离子， 并再进一步降低废水中的总有机碳含量。
本发明的另一目的系在于提供一种废水处理回收系统，可分解含 有有机碳废水中的有机物，并回收处理后的废水作为原水供重复使用， 该处理回收系统包含一氧化次系统，可接受该含有有机碳废水的输入， 其包含有一OH基产生模块，可产生OH基，一有机物破坏模块，可 将OH基产生模块所产生的OH基加至废水中并破坏废水中的有机物; 及一触媒加速反应模块，其内含触媒可进一步分解废水中的有机物; 及一离子交换次系统，包含有一离子吸附反应模块，其接收氧化次系 统处理后的废水，以去除废水中的阴阳离子，并再进一步降低废水中 的总有机碳含量至可利用原水标准。
本发明的再一目的在于提供一种回收处理后废水的产业制造系统 及其方法，可回收处理后的废水作为原水供重复使用，该制造系统包 含有一废水处理回收系统，可分解该废水中的有机物，该回收处理包 含有一氧化次系统，可接受该含有有机碳废水的输入，其包含有一OH 基产生模块，可产生OH基，一有机物破坏模块，可将OH基产生模 块所产生的OH基加至废水中并破坏废水中的有机物;以及一触媒加 速反应模块，其内含触媒可进一步分解废水中的有机物;及一离子交 换次系统，包含有一离子吸附反应模块，其接收氧化次系统处理后的 废水，以去除废水中的阴阳离子，并再进一步降低废水中的总有机碳 含量至可利用原水标准。
本发明的又一目的在于提供一种废水处理方法，可分解含有有机 碳废水中的有机物，该处理方法包含产生OH基，并以OH基破坏裂 解废水中的有机物;以触媒进一步分解废水中的有机物;及以离子交 换反应去除废水中的阴阳离子，再进一步降低废水中的总有机碳含量。