申请日2015.11.30
公开(公告)日2016.06.22
IPC分类号C02F9/02; C02F103/04
摘要
本实用新型属水处理技术领域，涉及一种超纯水处理系统，具体涉及一种用于电子工业的超纯水处理系统。本实用新型一种用于电子工业的超纯水处理系统，包括预处理系统、RO系统、EDI系统、供水系统以及自动控制系统。本实用新型通过设置预处理系统、RO系统、EDI系统、供水系统以及自动控制系统，可实现出水水质稳定，自动化程度高，连续运行，操作简单，终端产水水质电导阻率≥18MΩ·cm，可避免二次污染。
权利要求书
1.一种用于电子工业的超纯水处理系统，其特征在于，包括预处理系统、RO系统、EDI系统、供水系统以及自动控制系统;
所述预处理系统由通过管路依次连接的原水箱、原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、软化水过滤器以及保安过滤器构成;
所述RO系统，安装于保安过滤器后，由通过管路依次连接的一级高压泵、一级RO反渗透装置、一级纯水箱、二级高压泵、二级RO反渗透装置、二级纯水箱构成;
所述EDI系统，安装于二级纯水箱后，由通过管路依次连接的EDI增压泵、EDI装置、EDI超纯水箱、超纯水供水泵构成;
所述供水系统，安装在超纯水供水泵后，由通过管路依次连接的杀菌装置、抛光混床、精密过滤器构成，精密过滤器通过管路连接至用水点;
所述自动控制系统设有控制柜和PLC自动控制器，连接自动控制预处理系统、RO系统、EDI系统、供水系统。
2.根据权利要求1所述的一种用于电子工业的超纯水处理系统，其特征在于，所述软化水过滤器与保安过滤器之间通过管路连接有阻垢装置。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于电子工业的超纯水处理系统，其特征在于，所述一级RO反渗透装置与一级纯水箱之间通过管路连接有PH调节装置。
4.根据权利要求1所述的一种用于电子工业的超纯水处理系统，其特征在于，所述杀菌装置采用过流式紫外灯。
5.根据权利要求1所述的一种用于电子工业的超纯水处理系统，其特征在于，所述一级纯水箱、二级纯水箱、EDI超纯水箱采用PE材料制作。
6.根据权利要求1所述的一种用于电子工业的超纯水处理系统，其特征在于，所述精密过滤器内装有0.22μm微滤滤芯。
说明书
一种用于电子工业的超纯水处理系统
技术领域
本实用新型属水处理技术领域，涉及一种超纯水处理系统，具体涉及一种用于电子工业的超纯水处理系统。
背景技术
现有的电子工业用超纯水设备主要用于单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装、引线框架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺用纯水，产水水质电导阻率≤18MΩ·cm，且在水处理过程中有二次污染，出水水质不稳定。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种产水水质电导阻率≥18MΩ·cm，避免二次污染，出水水质稳定，用于电子工业的超纯水处理系统，以解决现有技术中的不足之处。
本实用新型采用的技术方案是：一种用于电子工业的超纯水处理系统，包括预处理系统、RO系统、EDI系统、供水系统以及自动控制系统;
所述预处理系统用于去除原水中的颗粒物、有机胶体和氧化性物质，由通过管路依次连接的原水箱、原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、软化水过滤器以及保安过滤器构成;
所述RO系统的主要作用是脱盐，去除原水中约98%的盐类和有机物，去除水中可能含有的颗粒物，安装于保安过滤器后，由通过管路依次连接的一级高压泵、一级RO反渗透装置、一级纯水箱、二级高压泵、二级RO反渗透装置、二级纯水箱构成;
所述EDI系统其主要作用是降低水的电导率，使出水水质达到高纯水要求，安装于二级纯水箱后，由通过管路依次连接的EDI增压泵、EDI装置、EDI超纯水箱、超纯水供水泵构成;
所述供水系统，安装在超纯水供水泵后，由通过管路依次连接的杀菌装置、抛光混床、精密过滤器构成，精密过滤器通过管路连接至用水点;
所述自动控制系统设有控制柜和PLC自动控制器，连接自动控制预处理系统、RO系统、EDI系统、供水系统。
本实用新型进一步改进之处还在于：
所述软化水过滤器与保安过滤器之间通过管路连接有阻垢装置。
所述一级RO反渗透装置与一级纯水箱之间通过管路连接有PH调节装置。
所述杀菌装置采用过流式紫外灯。
所述一级纯水箱、二级纯水箱、EDI超纯水箱采用PE材料制作。
所述精密过滤器内装有0.22μm微滤滤芯。
本实用新型相比现有技术，具有以下有益效果：
1、本实用新型通过设置预处理系统、RO系统、EDI系统、供水系统以及自动控制系统，可实现出水水质稳定，自动化程度高，连续运行，操作简单，终端产水水质电导阻率≥18MΩ·cm，可避免二次污染。
2、过流式紫外灯能杀菌消毒，同时能分解水中多余的臭氧，使直饮水中臭氧浓度保持在安全范围内。
3、一级纯水箱、二级纯水箱对系统的给水起调节作用，采用PE材料制作，不会产生第二次污染。
4、EDI超纯水箱用于存储EDI系统制取的超纯水，为后面的供水系统提高更好的稳定性，采用PE材料制作，不会产生第二次污染。
5、精密过滤器内装有0.22μm微滤滤芯，能滤除微滤和热源，使进入管网的水更干净卫生。