广东10深圳技术大学教学线功能薄膜材料制备设备意向公开

• 、深圳技术大学教学线功能薄膜材料制备设备意向公开采购单位:深圳技术大学项目名称:教学线功能薄膜材料制备设备预算金额（元）:3,060,000.000采购品目:其他仪器仪表采购需求概况:1、贴片固态源扩散炉1.1、炉管适配晶圆尺寸：6英寸及以下圆片，产量≥25片/批1.2、炉体及工艺管：炉体…
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