湖北一种高端光刻机用高温高性能压电陶瓷元件研制项目
中国污水处理工程网 2025-7-8 7:00:45
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项目名称：一种高端光刻机用高温高性能压电陶瓷元件研制项目建设地点：项目投资：2006万元，资金来源自筹项目概况：本项目为自主研发高端光刻机的极紫外光源中控…
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