山东面向光电子器件的15MeV超高能离子注入工艺及关键设备
中国污水处理工程网 2025-6-19 7:00:45
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项目名称：面向光电子器件的15MeV超高能离子注入工艺及关键设备建设地点：项目投资：20000万元，资金来源自筹项目概况：建设满足离子注入机研发及生产的洁净间及…
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