纯水制造中应用的膜分离技术主要有电渗析(ED)、反渗透(RO)、纳滤(NF)、超滤(UF)、微滤(MF)，其工作原理、纯水制造中常用的膜技术膜组件名称EDRONFUFMF微孔孔径5-50埃15-85埃50-1000埃(1μm)0.03-100μm工作原理离子选择透过性。
1.优先吸附-毛细管理论
2.氢链理论
3.扩散理论同左滤膜筛滤作用同左作用去除无机盐离子
去除无机盐离子，以及有机物、微生物、胶体、热源、病毒等 去除二价、三价离子，M>100的有机物，以及微生物、胶体、热源、病毒等。
与传统的水处理技术相比，膜技术具有工艺简单、操作方便、易于自动控制、能耗小、无污染、去除杂质效率高、运行成本低等优点，特别是几种膜技术的配合使用，再辅之以其他水处理工艺，如石英砂过滤、活性炭吸附、脱气、离子交换、UV杀菌等，为去除水中的各种杂质，满足日益发展的电子工业对高纯水的需要，提供了有效而可靠的手段，而且也只有应用了多种膜技术，才能生产出合格、稳定的高纯水，才能生产出大规模、超大规模、甚大规模集成电路(LSI、VLSI、ULSI)，从而使计算机、雷达、通讯、自动控制等现代电子工业的发展和应用得以实现。
值得一提的是：当原水的含盐量大于400mg/L时，纯水制造的除盐工序采用RO-离子交换工艺后，比早先单用离子交换可节约酸、碱90%左右，使离子交换柱的周期产水量提高10倍左右，事实证明，可以降低纯水制造的运行费用和制水成本，可以减少工人的劳动强度，可以减少对环境的污染，并可使纯水水质得到提高并长期稳定。