公布日：2022.04.15
申请日：2022.01.17
分类号：C02F9/06(2006.01)I;C01C1/16(2006.01)I;C02F101/14(2006.01)N
摘要
本发明提供一种低浓度含氟废水的处理方法，用于蚀刻废液处理工艺的后续处理，降低能耗费用的同时，回收得到高浓度的氟化氢铵溶液，提高资源利用效果，并降低排放水的的含氟量，保证环境安全；其包括以下步骤，将含氟处理废水通入预反应罐与回收氢氟酸溶液进行预处理，得到氟化氢铵溶液；然后通入微滤过滤器进行过滤，再采用电渗析装置进行两级电渗析处理，一级电渗析装置处理得到一级淡水和一级浓水，一级淡水进入淡水储罐，一级浓水经一级浓水罐进入二级电渗析装置处理得到二级淡水和二级浓水，二级淡水回用于一级电渗析装置，二级浓水进入浓水储罐。
权利要求书
1.一种低浓度含氟废水的处理方法，其特征在于，其包括以下步骤，S1：将氟化铵质量分数为0.5-5%的含氟处理废水通入预反应罐，加入质量分数为10-50%的回收氢氟酸溶液进行预处理，所述含氟处理废水与所述回收氢氟酸溶液的用量为所述氟化铵和氢氟酸的摩尔比1：1.05-1：1.2，常温常压下反应15-30分钟，得到氟化氢铵溶液；S2：然后通入微滤过滤器进行过滤，并控制所述氟化氢铵溶液通过所述微滤过滤器的压力为0.5mpa±0.05mpa；得到氟化氢铵过滤液；S3：再采用电渗析装置进行两级电渗析处理，一级电渗析装置处理2h，得到一级淡水和一级浓水，所述一级浓水经一级浓水罐进入二级电渗析装置，所述一级淡水进入淡水储罐，所述二级电渗析装置处理1h，得到二级淡水和二级浓水，所述二级淡水回用于所述一级电渗析装置，所述二级浓水进入浓水储罐。
2.根据权利要求1所述的一种低浓度含氟废水的处理方法，其特征在于：S2中，过滤时，使用增压泵控制所述压力。
3.根据权利要求1所述的一种低浓度含氟废水的处理方法，其特征在于：S2中，所述微滤过滤器采用聚四氟乙烯（PTFE）滤芯，膜孔径为10μm。
4.根据权利要求1所述的一种低浓度含氟废水的处理方法，其特征在于：S3中，所述电渗析装置的电渗析膜为均相膜。
5.根据权利要求1所述的一种低浓度含氟废水的处理方法，其特征在于：S3中，所述电渗析装置的电极为钛涂铱钽电极。
6.根据权利要求1所述的一种低浓度含氟废水的处理方法，其特征在于：S1中，所述预反应罐设有搅拌装置。
发明内容
针对现有蚀刻废液蒸发浓缩处理工艺得到的处理废水含氟量不达标、直接排放导致环境污染，回用于废液处理工艺耗能较大的缺点，本发明提供了一种低浓度含氟废水的处理方法，用于蚀刻废液处理工艺的后续处理，降低能耗费用的同时，回收得到高浓度的氟化氢铵溶液，提高资源利用效果，并降低排放水的的含氟量，保证环境安全。
本发明采用如下技术方案：其特征在于，其包括以下步骤，S1：将氟化铵质量分数为0.5-5%的含氟处理废水通入预反应罐，加入质量分数为10-50%的回收氢氟酸溶液进行预处理，所述含氟处理废水与所述回收氢氟酸溶液的用量为所述氟化铵和氢氟酸的摩尔比1：1.05-1：1.2，常温常压下反应15-30分钟，得到氟化氢铵溶液；S2：然后通入微滤过滤器进行过滤，并控制所述氟化氢铵溶液通过所述微滤过滤器的压力为0.5mpa±0.05mpa；得到氟化氢铵过滤液；S3：再采用电渗析装置进行两级电渗析处理，一级电渗析装置处理2h，得到一级淡水和一级浓水，所述一级浓水经一级浓水罐进入二级电渗析装置，所述一级淡水进入淡水储罐，所述二级电渗析装置处理1h，得到二级淡水和二级浓水，所述二级淡水回用于所述一级电渗析装置，所述二级浓水进入浓水储罐。
其进一步特征在于：S2中，过滤时，使用增压泵控制所述压力；S2中，所述微滤过滤器采用聚四氟乙烯（PTFE）滤芯，膜孔径为10μm；S3中，所述电渗析装置的电渗析膜为均相膜；S3中，所述电渗析装置的电极为钛涂铱钽电极；S1中，所述预反应罐设有搅拌装置。
本发明的有益效果是：本方法用于蚀刻废液处理工艺的后续处理，工艺简单，不仅可避免次生危废或者产生二次污染，而且在降低能耗费用的同时，可回收得到较高浓度的氟化氢铵溶液，回用于蚀刻废液处理工艺的蒸发系统、提高资源的利用效果，经本方法后还可降低排放水的的含氟量，使其符合排放标准，保证环境安全，或者用于其他处理工艺中的冲洗水、循环冷却水的用水点，提高资源利用率。
（发明人：邱立京;王堃;刘围;周漪雯）