申请日 2020.09.09
公开（公告）日 2020.12.25
IPC分类号 C02F1/66; C02F103/34
摘要
本发明公开了一种半导体生产中废水处理装置，其结构包括有进水管、顶盖、节能电机、混合搅拌装置、酸碱中和器器体、支撑脚柱、出水管，酸碱中和器器体的底部中心安装有出水管，酸碱中和器器体的底部还垂直连接有支撑脚柱，与现有技术相比，本发明的有益效果在于：本发明通过转轴、一号投剂机构、二号投剂机构、搅拌机构的结合设置，投剂筒是置入废水中不同层次不同方位内，使得废水的不同深度不同方位都能有中和剂，再来对废水、中和剂进行搅拌混合，能够提高混合中和效果，使得废水混合中和得更加彻底，避免从高处直接倒入废水中，以此来防止中和剂先和上层废水混合中和，有助于提高废水酸碱中和处理效率。
权利要求书
1.一种半导体生产中废水处理装置，其结构包括有进水管(1)、顶盖(2)、节能电机(3)、混合搅拌装置(4)、酸碱中和器器体(5)、支撑脚柱(6)、出水管(7)，所述酸碱中和器器体(5)底部安装有出水管(7)、支撑脚柱(6)，顶部连有进水管(1)、顶盖(2)，所述顶盖(2)设有与混合搅拌装置(4)连接的节能电机(3)，所述混合搅拌装置(4)内设于酸碱中和器器体(5)，其特征在于：
所述混合搅拌装置(4)包括有转轴(401)、一号投剂机构(402)、二号投剂机构(403)、搅拌机构(404)，所述转轴(401)上安装有一号投剂机构(402)、二号投剂机构(403)、搅拌机构(404)，所述转轴(401)连于节能电机(3)，所述一号投剂机构(402)、二号投剂机构(403)、搅拌机构(404)内设于酸碱中和器器体(5)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体生产中废水处理装置，其特征在于：所述一号投剂机构(402)包括有注剂环(a1a)、分剂杆(a2a)、投剂筒(a3a)、连杆(a4a)、驱动环(a5a)，所述注剂环(a1a)连有三根分剂杆(a2a)，所述分剂杆(a2a)通过投剂筒(a3a)与连杆(a4a)连接，所述连杆(a4a)设有三根且与驱动环(a5a)连接，所述驱动环(a5a)与注剂环(a1a)为同心环且两者均与转轴(401)连接。
3.根据权利要求2所述的一种半导体生产中废水处理装置，其特征在于：所述驱动环(a5a)包括有空心环盘(5a1)、半圆块(5a2)、卷尺弹簧(5a3)、动力环(5a4)、伸缩组件(5a5)、活动口(5a6)，所述空心环盘(5a1)内设有动力环(5a4)，所述动力环(5a4)固定有与伸缩组件(5a5)接触的半圆块(5a2)，所述伸缩组件(5a5)与活动口(5a6)配合，所述活动口(5a6)设在空心环盘(5a1)上，所述伸缩组件(5a5)设有三组且通过卷尺弹簧(5a3)串联，所述卷尺弹簧(5a3)与空心环盘(5a1)、动力环(5a4)相连，所述空心环盘(5a1)与连杆(a4a)相接。
4.根据权利要求3所述的一种半导体生产中废水处理装置，其特征在于：所述伸缩组件(5a5)包括有气囊(x1)、通道(x2)、内杆(x3)、复位弹簧(x4)、异形件(x5)、回形块(x6)，所述内杆(x3)设有通道(x2)，所述通道(x2)内设有气囊(x1)，所述气囊(x1)内设有复位弹簧(x4)，所述气囊(x1)与内杆(x3)、异形件(x5)相接，所述异形件(x5)贯穿于通道(x2)与空心环盘(5a1)连接，所述内杆(x3)还固定有与卷尺弹簧(5a3)配合的回形块(x6)。
5.根据权利要求4所述的一种半导体生产中废水处理装置，其特征在于：所述内杆(x3)与活动口(5a6)配合，所述内杆(x3)连于连杆(a4a)，所述内杆(x3)与半圆块(5a2)接触。
6.根据权利要求2所述的一种半导体生产中废水处理装置，其特征在于：所述连杆(a4a)包括有空心杆体(4a1)、限位块(4a2)、齿条(4a3)、圆孔(4a4)，所述空心杆体(4a1)内部设有齿条(4a3)、限位块(4a2)，所述空心杆体(4a1)还开设有圆孔(4a4)，所述空心杆体(4a1)与空心环盘(5a1)连接，所述齿条(4a3)与内杆(x3)相连，所述空心杆体(4a1)与投剂筒(a3a)连接。
7.根据权利要求2所述的一种半导体生产中废水处理装置，其特征在于：所述投剂筒(a3a)包括有筒体(3a1)、转环(3a2)、中心轴(3a3)、储剂腔(3a4)、扇形柱(3a5)、投剂口(3a6)、齿轮(3a7)，所述筒体(3a1)内设有扇形柱(3a5)，所述扇形柱(3a5)通过转环(3a2)与中心轴(3a3)连接，所述扇形柱(3a5)与筒体(3a1)间形成储剂腔(3a4)，所述筒体(3a1)开设有投剂口(3a6)，所述投剂口(3a6)设有均布网，所述中心轴(3a3)贯穿于筒体(3a1)、圆孔(4a4)而与齿轮(3a7)连接，所述齿轮(3a7)与齿条(4a3)啮合。
说明书
一种半导体生产中废水处理装置
技术领域
本发明涉及半导体生产加工技术领域，具体地说是一种半导体生产中废水处理装置。
背景技术
随IC集成度的提高，硅片表面的洁净度对于获得IC器件高性能和高成品率至关重要，故在半导体扩散片生产过程中，需要对硅片进行2～3次的清洗，以此来减少沾污，目前对硅片的清洗主要采用湿法化学清洗，湿法化学清洗的废水常呈现酸性或碱性，若直接排放将会造成水污染，所以需进行酸碱中和处理。
现有都是直接将中和剂倒入废水中，中和剂从高处倒入，从而使得上层的废水先与中和剂混合，而下层的废水只能通过搅拌与中和剂混合的上层废水来进行混合中和，中和剂是从上自下进入废水中，进入的浓度与深度呈反比，以此会使得废水中和不够彻底。
发明内容
本发明的主要目的在于克服现有技术的不足，提供一种半导体生产中废水处理装置。
本发明采用如下技术方案来实现：一种半导体生产中废水处理装置，其结构包括有进水管、顶盖、节能电机、混合搅拌装置、酸碱中和器器体、支撑脚柱、出水管，所述酸碱中和器器体的底部中心安装有出水管，所述酸碱中和器器体的底部还垂直连接有支撑脚柱，所述酸碱中和器器体顶部连接有顶盖，所述顶盖顶部中心设有节能电机，所述节能电机的输出轴与混合搅拌装置连接，所述混合搅拌装置内设于酸碱中和器器体，所述酸碱中和器器体的一侧顶部还连接有进水管、
所述混合搅拌装置包括有转轴、一号投剂机构、二号投剂机构、搅拌机构，所述转轴上安装有一号投剂机构、二号投剂机构，所述一号投剂机构、二号投剂机构的上下两端均设有搅拌机构，所述搅拌机构与转轴连接，所述转轴连接于节能电机的输出轴，所述一号投剂机构、二号投剂机构、搅拌机构悬空设于酸碱中和器器体的酸碱中和腔内。
作为本发明内容的进一步优化，所述一号投剂机构包括有注剂环、分剂杆、投剂筒、连杆、驱动环，所述注剂环的圆周面三等分位上均连接有分剂杆，所述分剂杆通过两个相互平行的投剂筒而与连杆连接，所述分剂杆与连杆正相对，所述连杆设有三根且分布在驱动环的圆周面三等分位上，所述驱动环与注剂环为同心环结构设置且两者均与转轴连接。
作为本发明内容的进一步优化，所述驱动环包括有空心环盘、半圆块、卷尺弹簧、动力环、伸缩组件、活动口，所述空心环盘内设有与之为同心环结构的动力环，所述动力环的圆周壁的三等分位上均固定有半圆块，所述半圆块均接触有伸缩组件，所述伸缩组件与活动口活动配合，所述活动口设在空心环盘上，所述伸缩组件还与空心环盘连接，所述伸缩组件设有三组，三组所述伸缩组件通过卷尺弹簧串联，所述卷尺弹簧一端与空心环盘相连，另一端与动力环相接，所述空心环盘与连杆相接，所述伸缩组件与连杆连接。
作为本发明内容的进一步优化，所述伸缩组件包括有气囊、通道、内杆、复位弹簧、异形件、回形块，所述内杆设有通道，所述通道内设有气囊，所述气囊内设有复位弹簧，所述气囊的一端与内杆相连，另一端与异形件的内弧面相接，所述异形件贯穿于通道而与空心环盘内壁连接，所述内杆还固定有回形块，所述回形块与卷尺弹簧相配合。
作为本发明内容的进一步优化，所述内杆与活动口采用间隙配合，所述内杆还连接于连杆，所述内杆与半圆块接触，且与半圆块接触的一端面为弧形面。
作为本发明内容的进一步优化，所述连杆包括有空心杆体、限位块、齿条、圆孔，所述空心杆体内部一侧设有与之滑动配合的齿条，另一侧固定有限位块，所述空心杆体朝向投剂筒的顶面开设有两个圆孔，所述空心杆体与空心环盘连接，所述齿条与内杆相连，所述空心杆体与投剂筒垂直连接。
作为本发明内容的进一步优化，所述投剂筒包括有筒体、转环、中心轴、储剂腔、扇形柱、投剂口、齿轮，所述筒体内设有扇形柱，所述扇形柱通过转环与中心轴连接，所述扇形柱与筒体内壁间形成储剂腔，所述筒体开设有投剂口，所述中心轴贯穿于筒体、圆孔而与齿轮连接，所述齿轮内设于空心杆体且与齿条啮合，所述储剂腔与分剂杆相通，所述投剂口设有均布网。
有益效果
通过驱动动力环顺时针旋转，使得动力环带动半圆块旋转，从而半圆块逐渐对与之相接触的内杆施压，使得内杆通过活动口向齿轮的方向移动，内杆移动的会带动齿条移动，从而齿条带动与之相啮合的齿轮旋转，从而使中心轴发生联动，通过转环使得扇形柱旋转，而扇形柱旋转会使得储剂腔与投剂口相通，从而通过内弧面能将中和剂推出，使得中和剂能和废水混合中和，内杆移动的同时会对气囊造成挤压，从而气囊及复位弹簧被压缩，气囊与复位弹簧的复位能对内杆的复位提供动力，利于内杆的快速复位，同时也能使齿条紧紧卡住齿轮，防止齿轮旋转，进而能提高投剂筒的密封性，动力环在顺时针旋转的同时会释放卷尺弹簧，使得卷尺弹簧能松开回形块，便于内杆的移动，以此不同方位的投剂筒能将中和剂投入废水中的不同深度及不同方位，利于提高废水均匀中和，通过驱动节能电机，使得转轴旋转，从而搅拌机构及分剂杆、连杆在联动旋转时能起到对废水搅拌的作用。
综上所述，与现有技术相比，本发明通过转轴、一号投剂机构、二号投剂机构、搅拌机构的结合设置，投剂筒是置入废水中不同层次不同方位内，使得废水的不同深度不同方位都能有中和剂，再来对废水、中和剂进行搅拌混合，能够提高混合中和效果，使得废水混合中和得更加彻底，避免从高处直接倒入废水中，以此来防止中和剂先和上层废水混合中和，有助于提高废水酸碱中和处理效率。
发明人 （郭志锋）