申请日2007.09.26
公开(公告)日2009.04.01
IPC分类号C02F1/42
摘要
本发明公开了一种水处理装置和一种水处理装置的监测方法。该水处理装置适于配置在超纯水制造系统。此装置包括第一树脂单元以及第一比对单元。第一比对单元与第一树脂单元并联，且第一比对单元为以相同于第一树脂单元的规格而等比例缩小。
权利要求书
1.一种水处理装置，适于配置在超纯水制造系统，包括：
第一树脂单元;以及
第一比对单元，与该第一树脂单元并联，该第一比对单元以相同于该第 一树脂单元的规格而等比例缩小。
2.如权利要求1所述的水处理装置，还包括第二树脂单元，连接该第一 树脂单元。
3.如权利要求2所述的水处理装置，还包括第二比对单元，与该第二树 脂单元并联，该第二比对单元以相同于该第二树脂单元的规格而等比例缩 小。
4.如权利要求3所述的水处理装置，其中该第一树脂单元与该第二树脂 单元为并联。
5.如权利要求4所述的水处理装置，其中该第一比对单元与该第二比对 单元为并联。
6.如权利要求3所述的水处理装置，其中该第一树脂单元与该第二树脂 单元为串联。
7.如权利要求4所述的水处理装置，其中该第一比对单元与该第二比对 单元为串联。
8.如权利要求2所述的水处理装置，其中该第二树脂单元包括精练型树 脂塔。
9.如权利要求1所述的水处理装置，其中该第一树脂单元包括精练型树 脂塔。
10.一种水处理装置的监测方法，该水处理装置配置于超纯水制造系统
中，此方法包括：
提供比对单元，该比对单元以相同于该树脂单元的规格而等比例缩小;
将该比对单元与树脂单元并联;
设定该比对单元的运转条件;以及
定期取样该比对单元，以分析该树脂单元的使用状况。
11.如权利要求10所述的水处理装置的监测方法，其中设定该比对单元
的运转条件包括使该比对单元的运转条件与该树脂单元的运转条件相同。
12.如权利要求10所述的水处理装置的监测方法，其中设定该比对单元 的运转条件包括调整通过该比对单元的水流量。
13.如权利要求10所述的水处理装置的监测方法，其中该树脂单元包括 精练型树脂塔。
说明书
水处理装置及其监测方法
技术领域
本发明涉及一种超纯水制造系统及其监测方法，且特别涉及一种水处理 装置及其监测方法。
背景技术
近年来，由于半导体技术不断地蓬勃发展，使得高科技产品得以大幅跃 进。而在人们追求产品具有轻薄短小等优点的需求之下，各类产品的元件亦 趋于微型化。如此一来，在半导体类产品中，便必须增加元件的集成度。然 而，随着元件复杂度与集成度的升高，芯片表面的微小缺陷(minute defects) 和微量杂质(trace impurities)更容易对元件的性质造成严重影响。芯片表面的 微小缺陷和微量杂质不但会劣化元件的品质和可靠度，更甚而会降低芯片的 成品率。因此，在半导体工艺中，用以清洗芯片以移除附着于芯片表面上无 用物质的洗净工艺便显得相当重要。
由于原水(raw water)内含有各类形式的杂质，若使用原水对芯片进行洗 净的步骤，杂质容易沈淀于芯片表面上反而造成芯片和元件的劣化。一般而 言，芯片洁净度的提升是通过超洁净技术(ultraclean technology)来达成。超洁 净技术是一种利用超纯水洗净芯片的技术，因此超纯水的纯度与品质是非常 重要的。
在超纯水系统中，通常会将多个规格相同的树脂单元并联或串联，以作 为水质的处理装置。一般来说，为了得知树脂单元的更换周期，通常会在树 脂单元的出水端处设置硼分析仪(boron analyzer)，检测树脂单元中的树脂是 否有泄露，用以判断是否需要更换树脂单元。然而，此种方法无法确实判断 树脂单元的状况。此外，若是要直接取样树脂单元中的树脂做进一步的分析， 势必要暂停部分树脂单元的运转才能取得树脂。而在取样的过程，可能会因 操作上的失误而对超纯水造成品质上的影响。
由于树脂单元的费用很高，若是在树脂单元还能使用的情况下，因无法 分析判断树脂的使用年限而更换树脂单元，会导致工艺成本大幅增加。因此， 如何避免上述的问题，并确实地判断树脂单元的使用寿命，以降低成本的花 费是目前业界亟欲解决的课题。
发明内容
本发明提供一种水处理装置，可以在不停止装置运转的情况下，取样分 析树脂单元的树脂。
本发明还提供一种水处理装置的监测方法，能够确实地分析树脂单元的 状态，用以研判树脂单元的使用寿命。
本发明提出一种水处理装置，适于配置在超纯水制造系统。此装置包括 第一树脂单元以及第一比对单元。第一比对单元与第一树脂单元并联，且第 一比对单元以相同于第一树脂单元的规格而等比例缩小。
在本发明的一实施例中，水处理装置还包括第二树脂单元，连接第一树 脂单元。
在本发明的一实施例中，水处理装置还包括第二比对单元，与第二树脂 单元并联，且第二比对单元以相同于第二树脂单元的规格而等比例缩小。
在本发明的一实施例中，上述的第一树脂单元与第二树脂单元例如是并 联。
在本发明的一实施例中，上述的第一比对单元与第二比对单元例如是并 联。
在本发明的一实施例中，上述的第一树脂单元与第二树脂单元例如是串 联。
在本发明的一实施例中，上述的第一比对单元与第二比对单元例如是串 联。
在本发明的一实施例中，上述的第二树脂单元例如是精练型树脂塔。
在本发明的一实施例中，上述的第一树脂单元例如是精练型树脂塔。
本发明另提出一种配置于超纯水制造系统的水处理装置的监测方法。首 先，提供比对单元，且其以相同于树脂单元的规格而等比例缩小。然后，将 比对单元与树脂单元并联。接着，设定比对单元的运转条件。之后，定期取 样比对单元，以分析树脂单元的使用状况。
在本发明的一实施例中，上述设定比对单元的运转条件例如是使比对单 元的运转条件与树脂单元的运转条件相同。
在本发明的一实施例中，上述设定比对单元的运转条件例如是调整通过 比对单元的水流量。
在本发明的一实施例中，上述的树脂单元例如是精练型树脂塔。
本发明的水处理装置因采用将比对单元与树脂单元并联，且所使用的比 对单元以相同于树脂单元的规格而等比例缩小，因此能够有助于取样分析树 脂的使用情况。
再者，本发明的水处理装置的监测方法通过将比对单元与树脂单元并 联，并将比对单元的运转条件调整至相同于树脂单元的运转条件，以定期取 样分析树脂。因此，本发明的方法可以通过取样分析比对单元，来推测树脂 单元的树脂使用状态。
此外，本发明可以在水处理装置运转的情况下，定期取样分析树脂，以 研判是否延长树脂单元的使用寿命。另外，本发明还可比较经过不同运转时 间后的树脂状态，并进一步推估树脂单元的使用年限。因此，本发明的水处 理装置及其监测方法有助于降低工艺成本。
为让本发明之上述特征和优点能更明显易懂，下文特举优选实施例，并 配合所附图示，作详细说明如下。