三氯氢硅生产中废水处理技术

发布时间:2018-11-19 17:38:39

  申请日2009.12.17

  公开(公告)日2010.11.03

  IPC分类号C02F9/04; C02F101/12; C02F103/34; C02F1/52

  摘要

  本实用新型公开了三氯氢硅生产中的废水处理装置,包括依次连通的废水缓冲池、中和反应池、粗沉池、高位浓缩槽、压滤机和滤液澄清池,粗沉池与高位浓缩槽之间连接有废水泵,高位浓缩槽与压滤机通过加药混合器连通,加药混合器通过加药泵与助剂配制槽连接;该装置采用了自动化程度较大的带式压滤机来处理三氯氢硅废水的固液分离,分离效果明显,连续分离处理量大,便于操作,操作平稳且节能;除理后废水清澈透明,不需要再人工清洗滤网,可连续配制絮凝剂。

  权利要求书

  1.三氯氢硅生产中的废水处理装置,其特征在于:包括依次连通的废水缓冲池(1)、中和反应池(2)、粗沉池(3)、高位浓缩槽(4)、压滤机(5)和滤液澄清池(6),粗沉池(3)与高位浓缩槽(4)之间连接有废水泵(7),高位浓缩槽(4)与压滤机(5)通过加药混合器(8)连通,加药混合器(8)通过加药泵(9)与助剂配制槽(10)连接。

  2.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产中的废水处理装置,其特征在于:所述中和反应池(2)设置有搅拌装置。

  3.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产中的废水处理装置,其特征在于:所述助剂配制槽(10)为絮凝剂配制槽。

  4.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产中的废水处理装置,其特征在于:所述压滤机(5)和滤液澄清池(6)之间还设置有网带反冲洗水泵(11),与连通的管道一起形成循环回路。

  5.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产中的废水处理装置,其特征在于:所述压滤机(5)还连接有空压机(12)。

  6.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产中的废水处理装置,其特征在于:所述滤液澄清池(6)还设置有清水复用泵(13)。

  说明书

  三氯氢硅生产中的废水处理装置

  技术领域

  本实用新型属于三氯氢硅生产中的废水处理装置,是三氯氢硅生产中处理三氯氢硅废水中的固体悬浮物使之达标排放的装置。

  背景技术

  三氯氢硅生产过程中,总有一部分不凝尾气需要通过水洗排空,这部分尾气的主要成分为氧气、氮气、氢气、氯化氢和少量三氯氢硅气体。其中氢气含量在70~80%左右,氯化氢含量在15~25%左右,氮气含量为3~5%,氧气平均为0.4~1%,三氯氢硅气体含量为0.5%以下。在水洗过程中,由于有氯化氢气体水洗后,水呈酸性,尾气中含有三氯氢硅气体,三氯氢硅遇水就会水解生成氯化氢和二氧化硅粉沫,水洗中溶解在水中形成固体悬浮物。在这部分废处理中,一般先投加石灰中和调节PH值为7~9,中和后水中含有大量的固体杂质,需经过处理达标才能排放。

  目前的三氯氢硅废水处理是:三氯氢硅废水一般经过缓冲,投加石灰中和PH值到7~9,经沉淀,上清液外排;沉淀物送回板框式压滤机压滤;其缺点是板框式压滤机压滤为间断操作设备,操作强度大,更大的缺点是处理量小,处理困难。

  实用新型内容

  本实用新型针对上述技术问题,提出了新型环保的三氯氢硅生产中废水处理装置,引进了固液分离处理能力大的带式压滤机对三氯氢硅生产废水进行处理,可以连续稳定地进行固液分离,分离处理能力大,推动三氯氢硅废水综合治理及利用,减低废水排放量,减轻污染,提高社会经济效益。

  本实用新型的技术方案如下:

  三氯氢硅生产中的废水处理装置,其特征在于:包括依次连通的废水缓冲池、中和反应池、粗沉池、高位浓缩槽、压滤机和滤液澄清池,粗沉池与高位浓缩槽之间连接有废水泵,高位浓缩槽与压滤机通过加药混合器连通,加药混合器通过加药泵与助剂配制槽连接。

  所述中和反应池设置有搅拌装置。

  所述助剂配制槽为絮凝剂配制槽。

  所述压滤机和滤液澄清池之间还设置有网带反冲洗水泵,与连通的管道一起形成循环回路。

  所述压滤机还连接有空压机。

  所述滤液澄清池还设置有清水复用泵。

  所述高位浓缩槽可根据情况设置具体的个数。

  本实用新型工作时,首先三氯氢硅废水经过废水缓冲池均匀自流进入中和反应池,然后在中和反应池内投加石灰乳液进行中和,中和反应池的搅拌装置对废水和石灰乳液搅拌进行中和,中和后PH值控制在7~9,PH值采用PH在线检测仪测定;废水流进滤液澄清池后,上清液用清水复用泵抽回系统复用,悬浊液用废水泵抽到高位浓缩槽浓缩,清液反回中和反应池,浓缩后的浓缩液进压滤机压滤,滤液澄清后外排,滤饼作固废物处理。

  本实用新型的有益效果表现在:

  该装置采用了自动化程度较大的带式压滤机来处理三氯氢硅废水的固液分离,分离效果明显,连续分离处理量大,便于操作,操作平稳且节能;除理后废水清澈透明,不需要再人工清洗滤网,可连续配制絮凝剂。

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