申请日2014.12.09
公开(公告)日2016.08.24
IPC分类号C02F9/14
摘要
本发明公开了一种碳化硅回收废水预处理工艺，包括混凝沉淀和厌氧微生物絮凝两步骤。碳化硅回收废水COD和浊度高、活性硅含量高，通过加入硫酸铝和絮凝剂，能有效降低回收废水中的活性硅含量，从而降低废水浊度和化学需氧量，厌氧颗粒污泥中微生物的絮凝作用，能进一步降低碳化硅回收废水的化学需氧量。
权利要求书
1.一种碳化硅回收废水预处理工艺，其特征在于，去除工艺包括以下步骤：
S1：向碳化硅回收废水中加入硫酸铝和絮凝剂，充分搅拌，硫酸铝的加入量为80～86mg/L，絮凝剂的加入量为3.8～4.2mg/L;
S2：向S1所得废水静置沉降，去上层清液;
S3：向S2所得上层清液中加入厌氧颗粒污泥，废水与厌氧颗粒污泥的混合比例为1∶(0.8～1.2)，导入厌氧反应器反应至少72h，即完成碳化硅废水预处理操作。
2.根据权利要求1所述的碳化硅回收废水预处理工艺，其特征在于，所述S1的搅拌时间为8～12min。
3.根据权利要求2所述的碳化硅回收废水预处理工艺，其特征在于，所述S1中絮凝剂为有机高分子絮凝剂。
4.根据权利要求3所述的碳化硅回收废水预处理工艺，其特征在于，所述有机高分子絮凝剂为聚丙烯酰胺。
说明书
一种碳化硅回收废水预处理工艺
技术领域
本发明涉及碳化硅回收废水处理领域，具体涉及一种碳化硅回收废水预处理工艺。
背景技术
目前，半导体芯片制造业已成为许多国家快速增长的重要产业，预计在未来这一产业还将得到快速增长。随着半导体芯片制造业的蓬勃发展，碳化硅回收行业也迅速形成。碳化硅回收主要针对半导体芯片生产行业的切削液，切削液中含有聚乙二醇、碳化硅、多晶硅、单晶硅、废金属等。在半导体芯片生产行业中，切削液具有水量大、高COD、高悬浮物等特点，直接排放将对水环境造成严重危害。因此，碳化硅微粉回收是一个去除多晶硅、聚乙二醇、废金属等杂质，进而回收碳化硅的过程，具有明显的经济和环境效益。
碳化硅回收行业排放的污水通常含有碳化硅微颗粒、多晶硅、聚乙二醇、硅酸钠、金属离子等污染物，与典型的碳化硅生产废水存在明显的区别。目前国内外研究主要集中于对碳化硅生产废水的处理，而对碳化硅回收废水处理的研究报道较少。在没有成熟可靠的处理技术之前，碳化硅回收废水的排放将受到环保标准的制约。碳化硅回收过程会产生清洗废水，该废水具有pH值波动大，COD含量高(主要为聚乙二醇)，悬浮物浓度高，盐分高等特点，废水处理难度较大，已成为困扰碳化硅回收行业发展的瓶颈。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术中存在的缺陷，提供一种除杂效果好的碳化硅回收废水预处理工艺。
为实现上述技术效果，本发明的技术方案为：一种碳化硅回收废水预处理工艺，其特征在于，去除工艺包括以下步骤：
S1：向碳化硅回收废水中加入硫酸铝和絮凝剂，充分搅拌，硫酸铝的加入量为80～86mg/L，絮凝剂的加入量为3.8～4.2mg/L;
S2：向S1所得废水静置沉降，去上层清液;
S3：向S2所得上层清液中加入厌氧颗粒污泥，废水与厌氧颗粒污泥的混合比例为1∶(0.8～1.2)，导入厌氧反应器反应至少72h，即完成碳化硅废水预处理操作。
其中，所述S1的搅拌时间为8～12min。
其中，所述S1中絮凝剂为有机高分子絮凝剂。
其中，所述有机高分子絮凝剂为聚丙烯酰胺。
本发明的优点和有益效果在于：
碳化硅回收废水COD和浊度高、活性硅含量高，通过加入硫酸铝和絮凝剂，能有效降低回收废水中的活性硅含量，从而降低废水浊度和化学需氧量，厌氧颗粒污泥中微生物的絮凝作用，能进一步降低碳化硅回收废水的化学需氧量。