申请日2015.01.23
公开(公告)日2015.05.13
IPC分类号C02F9/14
摘要
本发明公开了一种芯片生产线的废水处理方法，包括如下步骤：接收来自于芯片生产线的废水，所述废水中包含纳米级悬浮颗粒物;在废水中加入悬浮物污泥物质，以吸附废水中的纳米级颗粒物，形成微米级以上的悬浮颗粒物;对所述废水进行膜生物反应器处理，以去除废水中的悬浮颗粒物。通过本发明，以解决现有技术存在的处理方式过于单一，这常常导致过滤物质很快堵塞的问题。
权利要求书
1.一种芯片生产线的废水 处理方法，其特征在于，包括如下步骤：
接收来自于芯片生产线的废水，所述废水中包含纳米级悬浮颗粒物;
在废水中加入悬浮物污泥物质，以吸附废水中的纳米级颗粒物，形成微 米级以上的悬浮颗粒物;
对所述废水进行膜生物反应器处理，以去除废水中的悬浮颗粒物。
2.根据权利要求1所述的芯片生产线的废水处理方法，其特征在于， 所述悬浮物污泥物质的浓度为500-1200PPM。
3.根据权利要求1所述的芯片生产线的废水处理方法，其特征在于， 所述废水中加入悬浮物污泥物质的步骤之后进一步包括：
检测所述悬浮物污泥物质的浓度;
若所述悬浮物污泥物质的浓度超过预设浓度，对所述悬浮物污泥物质进 行排放。
4.根据权利要求1所述的芯片生产线的废水处理方法，其特征在于， 所述膜生物反应器包括中空纤维膜。
5.根据权利要求1所述的芯片生产线的废水处理方法，其特征在于， 所述废水中加入悬浮物污泥物质的步骤之前进一步包括：
在废水中加入PH值调节物质，以使得所述废水的PH值呈弱酸性、中 性或弱碱性;
对废水进行过滤，以滤除废水中的颗粒物体。
6.根据权利要求5所述的芯片生产线的废水处理方法，其特征在于， 所述废水的PH值的范围为6.5-8.5。
7.根据权利要求5所述的芯片生产线的废水处理方法，其特征在于， 所述对废水进行过滤采用过滤器，其中所述过滤器的目数为60-100目。
8.根据权利要求1所述的芯片生产线的废水处理方法，其特征在于， 所述对所述废水进行膜生物反应器处理的步骤之后进一步包括：
在通过膜生物反应器处理后的净水中加入细菌抑制剂，以抑制净水中的 细菌滋生。
9.根据权利要求8所述的芯片生产线的废水处理方法，其特征在于， 所述细菌抑制剂包括次氯酸钠。
10.根据权利要求9所述的芯片生产线的废水处理方法，其特征在于， 所述次氯酸钠的余氯浓度为0.5-0.8PPM。
11.根据权利要求1所述的芯片生产线的废水处理方法，其特征在于， 所述废水处理方法进一步包括：
对所述膜生物反应器表面进行空气冲刷。
说明书
芯片生产线的废水处理方法
技术领域
本发明涉及废水处理的技术领域，尤其涉及一种芯片生产线的废水处理方法。
背景技术
在半导体制造技术中，通过一系列的光刻、刻蚀、沉积、离子注入、研磨、清洗等工艺形成具有各种功能的半导体芯片，然后将所述半导体芯片进行封装和电性测试，并最终形成终端产品。目前，在半导体芯片的制造过程中，会产生大量的工业废水。
在现有的废水处理过程中，通常单独使用序列间歇式活性污泥法(SBR)或生物接触氧化法或曝气生物滤池(BAF)，均只能对废水进行单一的处理，例如为过滤或微生物反应或去除毒性等，由于处理方式过于单一，这常常导致过滤物质很快堵塞的问题。因此，废水处理仍有改善的空间。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种芯片生产线的废水处理方法，以解决现有技术存在的处理方式过于单一，这常常导致过滤物质很快堵塞的问题。
为解决上述问题，本发明实施例提供一种芯片生产线的废水处理方法，包括如下步骤：接收来自于芯片生产线的废水，所述废水中包含纳米级悬浮颗粒物;在废水中加入悬浮物污泥物质，以吸附废水中的纳米级颗粒物，形成微米级以上的悬浮颗粒物;对所述废水进行膜生物反应器处理，以去除废水中的悬浮颗粒物。
其中，所述悬浮物污泥物质的浓度为500-1200PPM。
其中，所述废水中加入悬浮物污泥物质的步骤之后进一步包括：检测所 述悬浮物污泥物质的浓度;若所述悬浮物污泥物质的浓度超过预设浓度，对所述悬浮物污泥物质进行排放。
其中，所述膜生物反应器包括中空纤维膜。
其中，所述废水中加入悬浮物污泥物质的步骤之前进一步包括：在废水中加入PH值调节物质，以使得所述废水的PH值呈弱酸性、中性或弱碱性;对废水进行过滤，以滤除废水中的颗粒物体。
其中，所述废水的PH值的范围为6.5-8.5。
其中，所述对废水进行过滤采用过滤器，其中所述过滤器的目数为60-100目。
其中，所述对所述废水进行膜生物反应器处理的步骤之后进一步包括：在通过膜生物反应器处理后的净水中加入细菌抑制剂，以抑制净水中的细菌滋生。
其中，所述细菌抑制剂包括次氯酸钠。
其中，所述次氯酸钠的余氯浓度为0.5-0.8PPM。
其中，所述废水处理方法进一步包括：对所述膜生物反应器表面进行空气冲刷。
根据本发明的技术方案，通过对所述废水进行膜生物反应器处理，并于膜生物反应器处理前，加入悬浮物污泥物质。如此一来，可达到水资源的回收再利用的效果，并可避免膜生物反应器堵塞的情况发生。