江苏芯港半导体有限公司研发生产氮化镓第三代电子器件生产项目
项目概况
项目编号:
49366
所属行业:
机械电子电器-机电其他
业主类型:
企事业类
建设性质:
新建
当前阶段:
环评
资金来源:
自筹
投资金额:
11000万元
进展描述:
环境影响评价
省市区域:
江苏 -徐州
开工时间:
2022年
主体工艺:
Fenton 氧化+中和吸附+絮凝+斜板沉淀
详细地址:
会员可见
建设单位概况
常用工艺路线所需设备一览表
去光阻清洗机、SPM全自动清洗机、去光阻清洗机、甩干机、手动金属剥离机、PLASMA氧气等离子清洗机等。
项目建设概况
依托开发区已建标准厂房 10000m2,购置 氮化镓电子器件、光电子器件生产线 16 条,包括 MOCVD、光刻机、镀膜机、 测试机、分选机等设备,项目建成后将实现年产 20 万片氮化镓电子器件、光电 子器件等新型电子元器件的生产能力。
项目各项建设进度详细说明
截止**年*月*日,项目进展变动如下
环境影响评价公示
业主单位-负责人联系方式